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Components of a wafer processing apparatus can be replaced more quickly than conventional.: Il est possible d'améliorer la rapidité du remplacement des éléments d'un dispositif de traitement de tranche par rapport à l'état actuel de la technique.: A silicon wafer is preferably used as a template.: On utilise de préférence, en tant que gabarit, une tranche de silicium.

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Aufbau. Eine Scheibe besteht in den meisten Fällen aus monokristallinem Silicium, es werden aber auch andere Materialien wie Siliciumcarbid, Galliumarsenid und Indiumphosphid verwendet. In der Mikrosystemtechnik werden auch Glas-Wafer mit einer Dicke im 1-mm-Bereich verwendet.. Die Scheiben werden in verschiedenen Durchmessern gefertigt.

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Les wafers sont utilisés pour la fabrication de substrats et de membranes de Silicium. Les paramètres ci-dessous correspondent à nos modèles standards. Nous pouvons sur demande proposer des wafers avec des caractéristiques différentes.

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